informatik

Štúdium: SVŠT Bratislava, 1974

Pracoviská a významné funkcie: Ústav technickej kybernetiky SAV, Ústav počítačových systémov SAV (vedúci oddelenia), Ústav informatiky SAV

Najdôležitejšie výsledky: Technologická realizácia tenkých poly- imidových vrstiev vo funkcii pasivácie polovodičových štruktúr a jej vplyv na ich elektrické parametre; Technologické problémy integrácie prvkov na plátku (WSI - Wafer Scale Integration) a to hlavne teóriou a experimentami elektricky programovateľných prvkov a laserom programovateľných prvkov pre rekonfiguráciu mikroelektronických prvkov; Oblasť MEMS prvkov - mikrome- chanické senzorické systémy so zameraním na návrh, simuláciu, technológiu a testovanie vybraných druhov mikroakcelerometrov, oblasť submikrometrovej a nanometrovej elektrónovej litografii; Výskum nových rezistových materiálov pre litografiu novej generácie; Výskum v oblasti aplikácie polyimidových vrstiev v NGL.

Časopisecké publikácie, monografie, ohlasy: 81/2 kapito- ly/53; Najdôležitejšie publikácie: Kostic, I., Andok, R., Barak, V., Caplovic, I., Konecnikova, A., Matay, L., Hrkut, P., Ritomsky, A. Advanced patterning techniques for nanodevice fabrication. In Journal of Materials Science-Materials in Electronics, Kluwer Adademic Publishers, Dordrecht, Vol.14, no.10-12, (2003), pp. 645-648; Lalinský, T., Držík, M., Matay, L., Kostič, I., Mozolová, Ž., Haščík, Š., Krajcer, A. GaAs cantilever and bridge membrane-like structures fully compatible with AlGaAs/InGaAs/GaAs and InGaP/InGaAs/GaAs based HFET's. In TAY, F. E. H. Materials & Process Integration for MEMS. Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, (2002). Chapter 3, pp. 53-75

Medzinárodné projekty: 3/7

Významné ocenenia: Ocenenie na výstave NO- VTECH 1995, Cena SAV (člen kolektívu), Cena SAV za budovanie infraštruktúry pre vedu