Hlavnými výskumnými aktivitami sú praktická korekcia geometrického skreslenia kompenzáciou blízkosti, nabíjaním a tepelným účinkom spôsobenie rozptylu elektrónov v elektrónovom lúči v procese písania, metódy technologických úprav elektrónových zväzkov filmov citlivých pred a po optimálnom vzore expozície, odhad hlavných litografických parametrov v novej a obchodnej obrane systémov pre mikro a nano litografiu, a mnoho ďalších.

Oddelenie sa momentálne zúčastňuje národného projektu CRISIS - Výskum a vývoj nových informačných technológií na predvídanie a riešenie krízových situácií a bezpečnosť obyvateľstva.

V prípade záujmu o spoluprácu, kontaktujte Kanceláriu pre transfer technológií, poznatkov a ochranu duševného vlastníctva Slovenskej akadémie vied.