Oddelenie mikroelektronických štruktúr
Súčasné výskumné aktivity oddelenia sú zamerané na (1) návrh a procesnú technológiu štruktúr s povrchovou akustickou vlnou (SAW) integrovaných s tranzistorom HEMT na báze AlGaN/GaN pre multifunkčné senzory plynov, využiteľné v nehostinnom vysokoteplotnom a chemicky agresívnom prostredí, na (2) návrh a vývoj MEMS senzorov tlaku na báze AlGaN/GaN HEMT snímacích prvkov pre extrémne podmienky, a na (3) numerickú a počítačovú simuláciu aktívnych prvkov HEMT a MEMS senzorov (špecifické problémy návrhu).
Oddelenie sa v súčastnej dobe venuje až piatim projektom - Pokročilé piezoelektrické MEMS senzory tlaku, Multifunkčné detektorové polia na báze mikromechanických štruktúr, Vysokoteplotná mikrovlnná charakterizácia pokročilých polovodičových prvkov, Detekčný systém mäkkého rtg žiarenia a neutrónov na báze polovodičových zlúčenín pre diagnostiku horúcej plazmy a Pokročilé AlGaN/GaN HEMT a MISHEMT tranzistory pre vysokoteplotnú elektroniku a senzoriku.
V prípade záujmu o spoluprácu, kontaktujte Kanceláriu pre transfer technológií, poznatkov a ochranu duševného vlastníctva Slovenskej akadémie vied.